光谱共焦测量技术
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光谱共焦测量技术的实际应用
非接触式测量晶片
ERT系列传感器适用于针对晶片和太阳能电池进行非常简单的高精度的间距测量和层厚度测量。这些光学传感器仅借助一个测量头即可对厚度小于 1 mm 的硅片进行非接触式厚度测量。 ***的厚度测定(至边缘区域)对于最高的产品质量而言意义重大。ERT通过极小的测量点可以确保***测量。 而 ERT系列传感器所能做到的远不止于此:测量砷化镓晶片、不透明的薄膜和多层系统。 坚固耐用的简单构造使其可以直接继承在生产流程中。 该设备当然也适用于实验室内低成本、高精度的层厚度测量
适用于极高要求的光谱共焦距离测量
坐标测量设备和地质测量系统的制造商极其重视***性、质量和服务。 ***的企业决定将我们的传感器ERT系列与较大通光孔径的测量头组合使用,这一点并不足为奇。 其中的一个原因在于这些传感器可普遍应用于所有表面,具有高精度、高动态性能和高测量速度。
非接触式测量容器玻璃的壁厚
在生产容器玻璃时,首先要求在非接触式测量壁厚和圆度时达到较高的速度。 借助最多至四个集成的测量头,ERT传感器可以对试样的不同位置每秒进行 10000次测量。 凭借自身具备的高性能,无磨损测量头也可测量非圆形物品。 由于测量点直径仅有百分之几毫米,所以可以发现玻璃中极微小的缺陷。 之后无需再进行任何校准。 这些传感器凭借高品质的稳定可靠的测量结果非常适合于高温和低温条件下的在线测量,凭借着极高的精度非常适合于实验室内的离线运行。 在玻璃工业中,ERT传感器是众所周知的标准。